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隨著真空技術的不斷發(fā)展，真空設備在冶金工業(yè)被廣泛應用。油擴散泵作為大多數(shù)高真空系統(tǒng)的主泵，具有結構簡單，抽氣速率高，容易獲得高真空等特點，備受青睞；但油擴散泵的返油問題，多年以來，卻在生產(chǎn)實際中難以得到有效地解決。本文就如何控制油擴散泵的返油率，以期獲得高真空系統(tǒng)為目的，從油擴散泵的設計原理及在生產(chǎn)實際中積累的經(jīng)驗進行探討。
然后造成油擴散泵返油的情況比較多總結如下：
泵壁、特別是頂部泵壁的冷卻能力
不適當?shù)谋帽诒砻鏈囟�，使碰撞在擴散泵表面的蒸汽分子可能不會凝聚；沿泵壁向下流的油層表面溫度比泵壁溫度高的多，易于產(chǎn)生再蒸發(fā)，形成油返流，所以泵壁冷卻效率要高。頂部泵壁的充分冷卻能大大減少一級噴嘴表面的油膜和油滴再蒸發(fā)引起的返流率。
擴散泵入口障板阻擋油分子散射的能力不強
油擴散泵入口障板的主要作用是，當擴散泵正常工作時，阻擋不規(guī)則運動的油蒸汽分子向被抽容器中返流的屏障。障板的結構對阻擋油分子的返流有很大關系。
擴散泵加熱功率過大，油溫過高，返油率增大
油擴散泵加熱功率過大超出最佳值，油蒸汽射流密度增大，被抽氣體不易向蒸汽分子中擴散，蒸汽流速度過大，撞擊到泵壁上來不及冷凝反而濺射，就增加了油分子向被抽容器中擴散的機率，從而增大了返流率。
出口壓力過大，引起返油
油擴散泵的出口壓力不能超過最大反壓強，當擴散泵工作時出口壓強過大，氣體將由前級泵向擴散泵反擴散，改變油蒸汽分子的的定向運動，增大油蒸汽返流率。
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