真空測(cè)量與真空規(guī)校準(zhǔn) |
真空度測(cè)量與真空規(guī)校準(zhǔn)是真空技術(shù)的重要組成部分。
真空度測(cè)量指的是在低于大氣壓的條件下，對(duì)氣體全壓力的測(cè)童。
真空計(jì)是測(cè)量低于1.01X10-5PA(—個(gè)大氣壓 ) 的全壓力的測(cè)量?jī)x器，一般由真空規(guī)和控制線路兩部分組成。
真空規(guī)可分為絕對(duì)真空規(guī)和相對(duì)真空規(guī)。絕對(duì)真空規(guī)是從所測(cè)出的物理量就能直接計(jì)算出氣體壓力的真空規(guī)。相對(duì)真空規(guī)是根據(jù)輸出倍號(hào)與氣體壓力之間的關(guān)系，通過(guò)真空測(cè)量標(biāo) 準(zhǔn)校準(zhǔn)后才能確定的真空規(guī)。
真空測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)可分為絕對(duì)真空校準(zhǔn)裝置和相對(duì)真空校準(zhǔn)裝置兩大類。絕對(duì)真空校準(zhǔn)裝置 是從所測(cè)出的物理直接計(jì)算出壓力來(lái)校準(zhǔn)真空規(guī)。相對(duì)真空校準(zhǔn)裝置是相對(duì)真空規(guī)作 為主標(biāo)準(zhǔn)器，必須經(jīng)過(guò)絕對(duì)真空校準(zhǔn)裝置的校準(zhǔn),然后對(duì)真空規(guī)進(jìn)行校準(zhǔn)。
目前,從大氣壓到10-10PA壓力范圍內(nèi)真空度的測(cè)量問(wèn)題已經(jīng)解決了。一般是采用不同 類型的真空規(guī)去測(cè)量不同壓力區(qū)間的氣體壓力。但是在解決10-11PA-10-13PA壓力范圍的極高真空測(cè)量方面進(jìn)展緩慢。要用已有的真空規(guī)直接測(cè)量特殊條件下的真空度是困難的,還 要對(duì)規(guī)的結(jié)構(gòu)、工藝、理論等多方面的問(wèn)題進(jìn)行探討。真空系統(tǒng)中稀薄氣流的非均勻分布問(wèn) 題,以及對(duì)非均勻氣流的壓力測(cè)量，已成為近年來(lái)詳加研究的課題。
在從大氣壓到10-10PA壓力范圍內(nèi)，已有各種類型的絕對(duì)真空規(guī)和絕對(duì)真空校準(zhǔn)裝置，并從大氣壓到l0-7PA壓力范圍內(nèi)開(kāi)展了各種雙邊和多邊真空量值的比對(duì)工作,取得了較好的一致性。在10-8PA-QO-10PA壓力范圍內(nèi)沒(méi)有進(jìn)行過(guò)任何比對(duì)。因此要達(dá)到真空量值的國(guó)際統(tǒng)一，還有大量的工作要做。
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